مجله خبری سنسور

ساختار سنسور فشار خازنی

دیافراگم ها را می قدرت از مواد مختلفی از قبیل پلاستیک، شیشه، سیلیکون یا این که سرامیک ایجاد کرد تا مطلوب برای کاربردهای مختلف باشند.

گنجایش خازنی سنسور به صورت معمول نزدیک به 50 تا 100 پیکوفاراد (pF) است و تغییراتی در توا‌ن یک‌سری پیکوفاراد دارااست.

استحکام و مقاومت مواد را می شود به سیرتکامل ای گزینش کرد تا طیف وسیعی از آلرژی ها و فشارهای عملیاتی را فراهم نماید. برای اخذ یک سیگنال تبارک، سنسور فشار باید نسبتاً گران قدر باشد، که می‌تواند مقطع فرکانس سعی را محدودتر کند. با این حالا، دیافراگم های کوچکتر حساس خیس می باشند و فرصت جواب دهی (Response time) سریع تری دارا هستند.

دیافراگم های بلندمرتبه و نازک معمولا نسبت به نویز ناشی از لرزش، به خصوص در فشار های پایین حساس می باشند (به عبارتی اصولی که برای ایجاد کرد میکروفون های کندانسور به کار گیری می‌شود).

از دیافراگم های کلفت خیس در سنسورهای فشار بالا و برای یقین از استحکام مکانیکی به کار گیری می‌گردد. با در دست گرفتن ضخامت دیافراگم، قابلیت و امکان ساخت سنسورهایی با رنج فشار تا psi5000 مهیا میشود.

با گزینش موادی با ضریب انبساط حرارتی تحت برای صفحات خازن، می اقتدار سنسورهایی با آلرژی بسیار نادر در ازای تغییرات دما ساخت‌و‌ساز کرد. همینطور به مراد اعتقادوباور از معیار درستی (Accuracy) و تکرارپذیری (Repeatability) اندازه گیری ها، مورد نیاز است که مواد به فعالیت رفته در ساختار آن ها دارنده هیسترزیس (Hysteresis) ذیل باشد.

از آنجایی که دیافراگم، خویش عنصر حسگر میباشد، مشکلی نیست که قطعات مازاد به دیافراگم متصل شوند، بنابراین سنسورهای خازنی نسبت به بعضا دیگر از سنسورها حاذق به عملکرد در دماهای فراتر می‌باشند.

سنسورهای فشار خازنی همینطور میتوانند به صورت بی واسطه بر روی تراشه سیلیکونی با به عبارتی تکنیک های پیاده سازی ساخته شوند که در ایجاد کرد وسایل الکترونیکی نصفه هادی از آنان استعمال می شوند (صورت ذیل). این امر اذن می‌دهد تا موادسازنده حسگر بسیار کوچکی ساخته شده و با قطعات الکترونیکی به مراد سئو سیگنال (Signal conditioning) و گزارش گیری ترکیب شوند. در‌این صفحه به معرفی بدون نقص سنسورهای فشاری که از سیستمهای مکانیکی میکروالکترونیک (microelectronic mechanical systems (MEMS)) در ساختار آنها استفاده شده خوا هیم پرداخت.

سطح روزگار ساختار یک سنسور خازنی

با وصل کردن سنسور به یک مدار متعلق به فرکانس مانند یک اسیلاتور یا این که مدار LC(دربرگیرنده سلف و خازن)، می توان پرشین ابزار دقیق تغییر در گنجایش خازن را اندازه گیری کرد. در هر دو موقعیت ، فرکانس رزونانسی مدار در تاثیر تغییر و تحول خازن به وسیله فشار تغییر میکند.

یک اسیلاتور به برخی از قطعات الکترونیکی مازاد و منبع تغذیه نیاز دارااست. یک مدار LC رزونانسی قادر است فارغ از منبع تغذیه، خویش تحت عنوان یک سنسور پسیو استفاده شود.

ساختار سنسور فشار خازنی

دیافراگم ها را می قدرت از مواد مختلفی از قبیل پلاستیک، شیشه، سیلیکون یا این که سرامیک ایجاد کرد تا مطلوب برای کاربردهای مختلف باشند.

گنجایش خازنی سنسور به صورت معمول نزدیک به 50 تا 100 پیکوفاراد (pF) است و تغییراتی در توا‌ن یک‌سری پیکوفاراد دارااست.

استحکام و مقاومت مواد را می شود به سیرتکامل ای گزینش کرد تا طیف وسیعی از آلرژی ها و فشارهای عملیاتی را فراهم نماید. برای اخذ یک سیگنال تبارک، سنسور فشار باید نسبتاً گران قدر باشد، که می‌تواند مقطع فرکانس سعی را محدودتر کند. با این حالا، دیافراگم های کوچکتر حساس خیس می باشند و فرصت جواب دهی (Response time) سریع تری دارا هستند.

دیافراگم های بلندمرتبه و نازک معمولا نسبت به نویز ناشی از لرزش، به خصوص در فشار های پایین حساس می باشند (به عبارتی اصولی که برای ایجاد کرد میکروفون های کندانسور به کار گیری می‌شود).

از دیافراگم های کلفت خیس در سنسورهای فشار بالا و برای یقین از استحکام مکانیکی به کار گیری می‌گردد. با در دست گرفتن ضخامت دیافراگم، قابلیت و امکان ساخت سنسورهایی با رنج فشار تا psi5000 مهیا میشود.

با گزینش موادی با ضریب انبساط حرارتی تحت برای صفحات خازن، می اقتدار سنسورهایی با آلرژی بسیار نادر در ازای تغییرات دما ساخت‌و‌ساز کرد. همینطور به مراد اعتقادوباور از معیار درستی (Accuracy) و تکرارپذیری (Repeatability) اندازه گیری ها، مورد نیاز است که مواد به فعالیت رفته در ساختار آن ها دارنده هیسترزیس (Hysteresis) ذیل باشد.

از آنجایی که دیافراگم، خویش عنصر حسگر میباشد، مشکلی نیست که قطعات مازاد به دیافراگم متصل شوند، بنابراین سنسورهای خازنی نسبت به بعضا دیگر از سنسورها حاذق به عملکرد در دماهای فراتر می‌باشند.

سنسورهای فشار خازنی همینطور میتوانند به صورت بی واسطه بر روی تراشه سیلیکونی با به عبارتی تکنیک های پیاده سازی ساخته شوند که در ایجاد کرد وسایل الکترونیکی نصفه هادی از آنان استعمال می شوند (صورت ذیل). این امر اذن می‌دهد تا موادسازنده حسگر بسیار کوچکی ساخته شده و با قطعات الکترونیکی به مراد سئو سیگنال (Signal conditioning) و گزارش گیری ترکیب شوند. در‌این صفحه به معرفی بدون نقص سنسورهای فشاری که از سیستمهای مکانیکی میکروالکترونیک (microelectronic mechanical systems (MEMS)) در ساختار آنها استفاده شده خوا هیم پرداخت.

سطح روزگار ساختار یک سنسور خازنی

با وصل کردن سنسور به یک مدار متعلق به فرکانس مانند یک اسیلاتور یا این که مدار LC(دربرگیرنده سلف و خازن)، می توان پرشین ابزار دقیق تغییر در گنجایش خازن را اندازه گیری کرد. در هر دو موقعیت ، فرکانس رزونانسی مدار در تاثیر تغییر و تحول خازن به وسیله فشار تغییر میکند.

یک اسیلاتور به برخی از قطعات الکترونیکی مازاد و منبع تغذیه نیاز دارااست. یک مدار LC رزونانسی قادر است فارغ از منبع تغذیه، خویش تحت عنوان یک سنسور پسیو استفاده شود.